「トンネル」(サイド オープン) の水平一方向流のクリーン ルーム、クリーン ルームの残りの部分は上記の清浄度レベル 5 の「トンネル」部分を達成するために渦現在のフロー型ワークベンチは、"トンネル"にあります。
