高効率フィルターとクリーンルームの清浄度は、「コア機器」と「最終結果」の間の技術的な相関関係にあります。{0}効率的なフィルターは、クリーンルームが設計された清浄度レベルを確実に達成および維持するための最も重要な技術手段の 1 つです。具体的には次の側面に反映されます。
最終バリア: 流入する空気の清浄度を決定します
高性能フィルターは通常、空気が作業場に入る最後の入り口である浄化空調システムの最後に設置されます。その中心的な機能は、空気中のミクロンまたはサブミクロンサイズの粒子をろ過することです。
フィルター対象:主に0.5μm以下の小さな塵粒子をターゲットにしながら、空気中の細菌も効果的にろ過し、出口気流のコロニー数をゼロに近づけます。
効率レベル: 異なる清浄度要件に応じて、異なる効率を持つフィルターが選択されます。たとえば、ISO レベル 5 (以前のレベル 100) 以上のクリーンエリアの場合、通常、H13/H14 高効率フィルター (最も容易に透過可能な粒子サイズ MPPS で 99.95% 以上の濾過効率を持つ) または U15 超高効率フィルター (99.9995% 以上の効率を持つ) を使用する必要があります。
基本的なロジック: 高効率フィルター自体の効率が基準を満たしていない場合、不適切に取り付けられている場合、または漏れがある場合、室内に送られる空気は汚れており、清浄度について議論することはできません。{0}
相乗効果:他の要素と合わせて清潔を維持
クリーンルームの清浄度は体系的なエンジニアリングであり、効率的なフィルターが中心的なリンクですが、最良の結果を達成するには他の要素と連携する必要があります。
| 影響を与える要因 |
高効率フィルターとの技術的提携- | 失敗が清潔度に及ぼす影響 |
| 空気濾過 |
高効率フィルターは 3 段階の濾過の最終段階です。{{1}その前段階の初期フィルターと中間フィルターが高効率フィルターを保護し、その寿命を延ばします。- | 清浄度はそのまま低下し、空気中に送り込まれる粉塵濃度が基準を超えてしまいます。 |
空気分配 |
高効率フィルターは通常、均一に配置されて一方向または非一方向の流れを形成する層流フードまたは FFU (ファン フィルター ユニット) と組み合わせられ、屋内で発生した汚染物質を効果的に排出します。 | 供給される空気がきれいであっても、汚染物質を排出することができず、室内の清浄度が低下する可能性があります。 |
静圧差 |
効率的なフィルターは、外部汚染の侵入を防ぐために、フィルター自体の抵抗を克服し、空調システムを通じて空気を供給することで室内を正圧に維持する必要があります。 | 外部の汚染物質が隙間から室内に侵入し、清浄度に影響を与える可能性があります。 |
動的な影響: 設置、運用、保守のプロセス全体
高効率フィルターが清浄度に及ぼす影響はライフサイクル全体に及び、どの段階でも何らかの問題が発生すると、最終的な清浄度が損なわれる可能性があります。-
インストールプロセス:
環境要件: 汚染を避けるために、開梱して設置場所に設置する前に、システムをエアブローで清掃し、クリーン ルームを徹底的に清掃する必要があります。
取り付け漏れ検出: PAO/DOP 漏れ検出は、取り付け後にフィルター自体の損傷の有無とフレームのシール品質のチェックに重点を置いて実行する必要があります。レベル 5 より厳しい A/B- グレードの無菌エリアまたはクリーンルームの場合、これは必須要件です。小さな漏れ箇所があると、局所的な清浄度が不十分になる可能性があります。
抵抗の調整: 同じ部屋に設置された複数の高効率フィルターは、同様の抵抗を持つ必要があります。-抵抗の差が大きすぎると、空気の流れに不均衡が生じ、空気の流れの均一性に影響を与えます。
運用フェーズ:
風速と効率: 主に拡散メカニズムに基づいた小さな粒子 (0.1 ~ 0.3 μ m MPPS など) の場合、フィルター材を通過する風速が低いほど、粒子がフィルター材内に長く留まり、捕捉される確率が高くなり、濾過効率が高くなります。経験によれば、風速を半分にすると粉塵の伝播速度が 1 桁減少する可能性があります。
抵抗変化:使用時間が長くなるとフィルターにゴミが蓄積し、徐々に抵抗が増加します。最終抵抗は通常、初期抵抗の 1.5 ~ 2.0 倍に設定されます。抵抗値が高すぎると供給空気量が大幅に減少し、換気不足となりクリーン度に影響を与えます。
特別な要件:
化学汚染管理: 半導体などの産業では、粒子状物質に加えて、分子レベルの化学汚染物質 (AMC) も製品の歩留まりに重大な影響を与える可能性があります。この時点で、浄化空調システムにケミカルフィルターを設置する必要があります。
微生物制御: 製薬および食品産業の場合、効率的なフィルターは粒子を制御するだけでなく、生きた微生物の数も制御する必要があります。したがって、フィルターの選択では、抗菌および滅菌能力も考慮する必要があります。
まとめ
高効率フィルタは、非常に高い濾過効率により、粉塵のない作業場に最も重要なクリーンな空気源を提供します。{1}{0}しかし、それは単独で存在するものではなく、その技術的性能は正しい選択、設置、エアフロー組織との調整、ライフサイクル全体にわたるメンテナンス管理に依存します。あらゆる面で不注意があると、高効率フィルタの誤動作につながり、最終的に作業場の清浄度が不十分になる可能性があります。{4}}







